Книга
Содержание
Вернуться в библиотеку
CVD-метод. Химическое парофазное осаждение
Закрыть (Esc)
CVD-метод. Химическое парофазное осаждение
Сыркин В.Г.
Титульный лист
Глава 1. Теория метода парофазного химического осаждения (CVD-метод)
Глава 2. Конструирование металлических материалов CVD-методом
Глава 3. Характеристика современных методов металлизации
Глава 4. Подготовка поверхности подложек в CVD-методе
Глава 5. Получение функциональных пленок и покрытий CVD-методом
Глава 6. Выращивание нитевидных кристаллов (вискеров) CVD-методом
Глава 7. Выращивание массивных металлических изделий CVD-методом
Глава 8. Получение нано- и микрочастиц металлов CVD-методом
Глава 9. Исходные летучие металлосодержащие соединения, используемые в CVD-методе
Глава 10. Синтез летучих металлосодержащих соединений для CVD-метода
Глава 11. Методы неразрушающего контроля металлических пленок и покрытий, получаемых CVD-методом
Литература